İnce Film Üretiminde Kimyasal Buhar Biriktirme Yöntemi ve Çeşitleri

İnce film teknolojisi hemen her sektörde özellikle de elektronik cihaz sektöründe yaygın olarak kullanılmaktadır. İnce filmlerin tercih edilmesindeki en büyük etken üretimine bağlı olarak morfolojik yapısının ayarlanabilir olması, stokiyometrisinin kontrol edilebilmesi ve homojenliğidir. Bu sebeple ince film üretim teknikleri büyük önem arz etmektedir. Bu özellikleri elde etmek için en çok kullanılan yöntem kimyasal buhar biriktirme (KBB) yöntemidir. Bu yönteme bağlı olarak da farklı tasarımlar üzerine çalışmalar yapılmıştır. Bu çalışmada ise kimyasal buhar biriktirme yöntemleri araştırılarak yöntemlerin avantajlı ve dezavantajlı olduğu parametreler belirlenmiştir.


Ayşegül ÇOŞĞUN, Ayşegül TAŞÇIOĞLU, Gökhan YILMAZ

Mehmet Akif Ersoy Üniversitesi Fen Bilimleri Enstitüsü Dergisi
,
Yıl 2021
Cilt 12
Sayı 2

Dergi adı:Mehmet Akif Ersoy Üniversitesi Fen Bilimleri Enstitüsü Dergisi

https://dergipark.org.tr/tr/pub/makufebed/issue/62330/861301

Author: admin